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EFEM
 

WAFER搬送系统


※根据客户的要求，在日本协力公司内部系统下进行构想设计、试作制作、评价等，实现顺利的量产启动。

※再加上CopyExactly的方针，提供稳定的品质产品，通过踏实的改善活动，以高效率的生产，以低成本、短交货期提供产品。



【制作实绩】

·晶片搬运机器人

·装载端口

·对准器

·EFEM

·精密搬运Unit

 
 
       
 
 
合作伙伴 Cooperative partner
 
                                 

 

 

 

 
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